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              高低溫真空探針臺

              作者:發布時間:2022-06-07分類:探針臺閱讀:92 ℃評論:0 評論


              高低溫真空探針臺


              極低溫測試:

              因為晶圓在低溫大氣環境測試時,空氣中的水汽會凝結在晶圓上,會導致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內的水汽在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉。


              高溫無氧化測試:

              當晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時,氧化現象會越來越明顯,并且溫度越高氧化越嚴重。過度氧化會導致晶圓電性誤差,物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內的氧氣在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉。

              晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換,因為熱脹冷縮現象,定位好的探針與器件電極間會有相對位移,這時需要針座的重新定位,針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調整探針的位置。


              ◆ 其他組件:

              真空組件

              分子泵組/機械泵/離子泵

              冷源組件

              50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷機


              ◆ 可選附件

              超高溫配件

              顯示器

              轉接頭

              射頻測試配件

              屏蔽箱

              光學平臺

              鍍金卡盤

              光電測試配件

              高壓測試配件

              分子泵組

              激光系統

              氣敏測試配件

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